G/ZZ-Oa001.00
静电测量标准
（版本：2 ）
编制部门： AOE 编 制 人： 杨少云 审 核： 标 准 化： 会 签：
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编制日期：2011.06.22
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文件修订履行 版本 V1.0 修订内容简述 / 防静电器材（防静电工衣、防静电包装袋、V2.0 防静电周转箱等）测量周期及检验范围修订 修订了防静电工衣、工鞋的测量周期及抽检V2 比例；新增加了电烙铁、防静电手腕、PCBA线体、2011.06.22 FA工装板海绵垫等设施的检验标准 文件发放范围 生 工厂PESMT车 PCBAFA车 工厂QF SQA 工厂综质量管理部 质
AOE/杨少云 2008.10.30 AOE/杨少云 生效日期 2007.10.30 修订部门/修订者 AOE/杨少云 部门人员产技术注：此文件已在PDM系统文档管理模块发放归档，系统将自动邮件至各相关部门。
/ 间 A部 部 合 管理部 部 部 间 车间 文件名称：静电测量标准 编号：G/ZZ-Oa001.00 第 2 页，共 13 页
1 范围
本标准规定了本公司静电测量的要求和方法。 本标准适用于防静电系统的静电测量。
2 引用标准
GBJ 3007-97 防静电工作区技术要求
SJ/T 10694-1996 电阻产品制造防静电系统测试方法 SJ/T 10533-94 电子设备制造防静电技术要求 SJ/T 10694-1996 电子产品防静电系统测试方法
SJ/T 11159-1998 地板覆盖层和装配地板静电性能试验方法 SJ/T 11277-2002 防静电周转容器通用规范
3 工厂防静电系统测量方法 3.1 测试环境
一般室内推荐测试环境要求：环境温度：8℃～28℃ ，相对湿度：40％～70％。 3.2 测试仪器
3.2.1 静电测试中常用仪器：非接触式（接触式）静电电压测试仪、表面电阻测试仪、地电阻测量仪、500V DV兆欧表及标准电极、万用表、腕带测试仪、人体综合电阻测试仪、离子平衡仪分析仪等。
3.2.2 电阻测量用电极组件
3.2.2.1电极应由一种能够快速加电和紧密保持与试样表面相接触的材料制成，不会因电极 电阻或试样的污染而导致明显的误差。电极材料在试验条件下应耐腐蚀，并且不会与被测材料发生化学反应。
3.2.2.2 以下组件是常用的，如果可以，符合其他国家或国际标准的构件也可以采用。对静电耗散材料体电阻的测试，为了减少杂散电流读数误差，在中心电极和环电极之间，应该 有测试探头充足的空间，间隙至少有10mm。接触电极材料应具有邵氏A级硬度50～70，其体电阻率低于10Ω/cm。进行表面电阻测量时,其电极的构造、重量、尺寸如图1所示。
3.2.2.3表面电阻测试时，电极的连接如图2所示。被测样品放置在支撑板上，被测面向上。测试电极置于样品中心或距离样品边缘10mm以上，加压10V，如无特殊规定，15s后读数。如
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果指示电阻<10Ω，则记录测试电阻。如果指示电阻≥10Ω，则改用100V，重复测量，确定带电时间后，记录读数。
3.2.2.4体电阻测试时，其电极的连接法示于图3所示。由两个不同的电极分别置于被测材料的两边，顶部电极(电极1)的构造、重量、尺寸如图4所示。底部电极(电极2)由适宜的不锈钢、
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耐腐蚀的金属材料(铝除外)组成，其硬度要求为邵氏A级50～70，其直径尺寸至少80mm，厚度
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最小3mm。该电极应安装有一个永久性连接接头。测试时，先加压10V,15s后读数。如果<10
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Ω，则记录测试电阻。如果≥10Ω，则改用100V，重复测量，确定带电时间后，记录读数。 3.2.2.5在进行对地泄漏电阻和点对点电阻测试时，也应该使用如图4所示的测试电极。
图1 表面电阻测量用电极
图2 表面电阻测量时电极连接图 图3 体电阻测量时电极连接图
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图4 点对点或对地泄漏电阻测量用电极组件
3.3 测试方法
3.3.1 摩擦起电电压测试
3.3.1.1 使用非接触式静电电压测试仪。
3.3.1.2 测试时，手持干燥布料（选用纯棉或防静电材料），以频数约120次/min，手掌适当施压力，单向摩擦被测件某一部位20次，按静电电压测试仪使用方法立即接近摩擦部位，观察仪表显示数值，并读取数值。
3.3.1.3按照测量方法反复测试5次，取平均值，在本公司表面摩擦电压值必须在2秒内衰减到100V以内为合格。
3.3.1.4生产场地的防静电设施，必须进行摩擦起电电压总体效果测试，一般生产工场必须测试的设施包括：防静电地面（地垫）、窗帘、工作台（台垫）、工作椅、货架、工位器具、物流传递器具（周转车、周转箱）、包装盒、各种柔性包装袋、工作服、手套等。 3.3.2 防静电地极测试
3.3.2.1 按下图5所示，使用接地电阻测量仪测试防静电地极的接地电阻。
图5 防静电地极接地电阻测试
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3.3.2.2 将被测地极用导线接于仪器端子E；
3.3.2.3 在相同直线方向20m、40m潮湿土地处，分别插入电位探测针极电流探测针，各接于仪器端子P、C；
3.3.2.4 设置“倍率盘”倍数；
3.3.2.5 由缓至快摇动仪器手柄，达到约120r/min，调整“测量标度盘”，指针指于零位时，读数乘以倍率标度，即为接地电阻值；
3.3.2.6 按测试步骤3.3.2.4、3.3.2.5反复测试3～5次，取平均值。 3.3.3 防静电地面对地电阻和表面电阻的测试
3.3.3.1 防静电地面对地电阻位应为：10～10Ω，对地电阻的测试原理按下图6所示连接仪器，按兆欧表的操作进行测量；
3.3.3.2 防静电地面表面电阻应为：10～10Ω，表面（点对点）电阻的测试原理按图7所示
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连接测试仪器，每4m随即抽取5点并取中心对角4次测试结果的平均值，测试点距地板的边缘不得小于100mm。
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5
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图6 地面对地极母线电阻测试
图7 地面表面点对点电阻测试
3.3.4 防静电台垫电阻测量
3.3.4.1防静电工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好，GJB3007－97推荐的工作台尺寸
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为1200×600mm2。防静电工作台面的对地电阻和表面电阻要求分别是7.5×10～1×10Ω与7.5
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×10～1×10Ω。
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3.3.4.2 对地电阻的测试按下图8所示，测试电表的一端接到腕带接地插孔上，另一个电极距此0.9m，测试5个点（测试电极以0.9m为半径绕接地插孔旋转移动），取其平均值。 3.3.4.3 表面点对点电阻测试时，二测试电极相距0.9m，测试时一个电极不动，另一个电极以0.9m为半径绕固定的电极旋转移动，共测试5组数据取其平均值。
3.3.4.4 测试工作台面对地系统电阻时，按下图9所示，进行测量。在工厂实际测量中，确保工作台接地点与静电地线连接良好的情况下，可用万用表直接测试工作台接地点和静电地线之间的阻值。
图8 工作台面对地电阻测试
图9 工作台面对地系统电阻测试
3.3.5 工作椅对地电阻和表面电阻的测试
3.3.5.1 工作椅、存放架、运输小车应能通过支脚或轮子接地，在正常情况下与工件、人体接触的表面应由静电耗散材料制作。对地电阻测试，一般以支脚架、脚轮等作为接地电极，另一电极接于器具表面的某一点；
3.3.5.2 表面电阻(点对点)为器具表面上两点之间的电阻数值。测试时应保持电极与被测表面
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之间良好的电接触。表面电阻(点对点)不大于1.0×10Ω，工作椅的对地电阻为1×10～1×10
10Ω，其测试原理及方法如下图10所示：
图10 工作椅对地电阻和表面电阻测试图
3.3.6 工场存放车架、运输小车对地电阻和表面电阻的测试
3.3.6.1 存放车架、运输小车的对地电阻为7.5×10～1×10Ω、表面电阻为7.5×10～1×10Ω，对地电阻的测试原理及方法按下图11所示，表面(点对点)电阻的测试原理及方法按下图12所示。
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图11物流车台面对车轮系统电阻测试
图12 表面电阻测试
3.3.7 手套、指套对地电阻测试
3.3.7.1 在进行操作时，防静电手套、指套的外面直接与工件相接触，并通过其壁和人体泄漏电荷，所以它必须能够耗散静电，又要使电荷耗散的速度不能太快以防突发放电，这些只能依靠它在穿着情况下具有合适的对地电阻，测量时，一般使用2枚φ20mm的平板形金属电极作为与测试导线相接触的面积。如果上述规定不能实现时，也可使用接线夹子。
3.3.7.2 手套对地电阻的测试按下图13所示。在佩戴情况下,一般要求手套、指套的对地电阻
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为7.5×10～1×10Ω。
图13 手套对地电阻的测试
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3.3.8 ESD防护腕带、鞋束（足跟带）静电性能测试
3.3.8.1 在ESD防护工作台面的两个角落上配置供腕带接地用的插孔(即EBP：earth bonding point)两个，一个供操作人员使用，另一个供其他相关人员使用。
3.3.8.2 腕带内表面(与手腕的接触面)对地电阻应不大于1×105Ω，供连接腕用的腕带连线端
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对端之间的电阻为7.5×10～6×10Ω，其测试方法如图14及图15所示：
图14 腕带内表面导电性能测试 图15 腕带连接电缆系统电阻测试
3.3.8.3 在工厂的日常测试中，通常使用静电手腕测试仪测量。
测试时，应确保腕带是佩戴于正常工作时的部位，将腕带连接导线的自由端接入测试的一个电极插孔，参照下图16所示，用手指按下接触板按钮，若是显示读数的测试仪，则显示腕带对地
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电阻应在规定 7.5×10Ω～1×10Ω之内，即为合格；若是信号显示的测试仪，仪器显示合格
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信号的设定范围也应在7.5×10Ω～1×10Ω之内。
在工厂使用中，部分固定岗位采用在线检测监控仪器的，只要在线监控仪器的监控范围符合上述参数要求，也是允许使用的。静电手腕在线检测监控仪的具体使用，参照工厂SOP执行。
图16 静电腕带测试仪测试图
图17 鞋束导电性能测试
3.3.8.4 鞋束静电性能测试：鞋束(足跟带)应由静电耗散材料制作，系统电阻一般规定为5×48
10Ω＜ R ＜1×10Ω。其测试原理及方法如图17所示 3.3.9 防静电鞋电阻测试
3.3.9.1防静电鞋的制造工厂常用测试方法：
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一般在制造工厂测试时，操作者穿好防静电鞋，一只脚站在人体综合电阻测试仪的电极上，用手压住测试仪器的另一电极，直到仪器显示有效即可，然后换另一只脚进行测量，测试仪器
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显示合格信号的设定范围也应在7.5×10Ω～1×10Ω之内，具体如图18所示。 3.3.10 防静电工作服静电性能测试
3.3.10.1 工作服对静电防护的有效性直接依赖于它的表面电阻。工作服的内、外表面要能够使人体操作中因摩擦等动作所产生的电荷顺利地到达人体表面，并最后通过防静电腕带、鞋袜等泄漏于大地。这就要求工作服的设计应能保持其在穿着状态下与人体直接或间接接触，并自身具有较小的表面电阻值。必要时，所穿工作服还应设置专门的接地连接点，对于这种设有专门接地连接点的工作服，还需测量对地电阻。 3.3.10.2 表面电阻和对地电阻测量标准
工作服的表面电阻为7.5×10Ω＜ R ＜1×10Ω，对地电阻为7.5×10Ω 10 5 8 图18 防静电鞋电阻测试 图19 服装对地电阻测试原理 图20 服装表面电阻测试原理图 文件名称：静电测量标准 编号：G/ZZ-Oa001.00 第 10 页，共 13 页 3.3.11 柔性包装袋的表面电阻测试： 3.3.11.1 工厂内部使用的各种防静电柔性包装袋，除了需要测量表面静电压以外，还需进行表 511 面电阻的测量，表面电阻应为1×10Ω～1×10Ω； 3.3.12 离子静电消除器的测试方法 3.3.12.1 测试设备：测试离子静电消除器消静电能力的仪器采用离子平衡仪，充电板的尺寸应该为150mm×150mm，最小电容为15pF，测试电路的总电容量应为（20±2pF）。附近没有接地导体，当充电时，充电板在5分钟内的自然放电不应超过测试电压的10％。测试时台式离子静电消除器与测试仪之间的相对位置见下图21所示； 3.3.12.2 将测试仪和台式静电消除器按图23所示位置，（压缩气体离子枪测试位置见图22，高架电离器测试位置见图23）将测试仪极板充电±1000V时，打开静电消除器电源，使充电极板暴露在气流中，关闭充电电源同时监测极板电压降至±100V时的静电衰减时间，要求其静电衰减时间不能超过20S，然后在中心线每个测试点监测残余电压，残余电压值也应小于±50V。 离子静电消除器检测周期和标准参照附录表A.3 图21台式离子静电消除器与测试仪之间的相对位置 图22 压缩气体离子枪测试位置 图23 高架电离器测试位置 文件名称：静电测量标准 编号：G/ZZ-Oa001.00 第 11 页，共 13 页 3.3.13 电烙铁接地电阻测试方法 3.3.13.1 使用万用表进行测试，将万用表设置为欧姆*10Ω档，测试电烙铁需热通电，用万用表一只表笔接设备地，另一表笔接触电烙铁头部金属部分，读万用表测量数值：小于10 欧姆，表示电烙铁接地正常；读数大于10 欧姆的，表示电烙铁接地异常，不能使用。 3.3.14 电批接地电阻测试方法 3.3.14.1 使用万用表进行测试，将万用表设置为欧姆*10Ω档，测试电批需通电，用万用表一只表笔接设备地，另一表笔接触电批头部金属部分，读万用表测量数值：小于10 欧姆，表示电批接地正常；读数大于10 欧姆的，表示电批接地异常，不能使用。 文件名称：静电测量标准 编号：G/ZZ-Oa001.00 第 12 页，共 13 页 附录A 防静电器材的检测标准及周期 表A.1 名 称 防静电工帽 防静电工衣 普通夏装工衣 普通冬装工衣 防静电工鞋 防静电指套 防静电手套 防静电袖套 脚束带 防静电屏蔽袋 防静电气泡袋 表面电阻（Ω） 7.5×10～1×10 7.5×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 / / / / 5×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 511511511511511510510对地电阻（Ω） / / / / 7.5×10～1×10 7.5×10～1×10 7.5×10～1×10 51051051059表面静电压检验周期 （V） ≤ ±100V ≤ ±100V ≤ ±100V ≤ ±100V / 检验比例 一年 半年 来料按5％抽检，最小抽检量不小一年 于10件，最多抽一年 检100件。 三个月 工厂使用中按检三个月 验周期全检 三个月 一年 三个月 三个月 三个月 三个月 三个月 三个月 半年 半年 半年 半年 半年 半年 半年 半年 半年 半年 一年 全检 全检 全检 全检 全检 全检 全检 全检 10％抽检 全检 来料检验按照公司AQL标准执行； 生产线按 5％抽检 ≤±100V ≤±100V 7.5×10～1×10 ≤±100V 84/ / / / / / / 1×10～1×10 ≤1×10 / / / / / / / 1×10～1×10 591059/ ≤±100V ≤±100V ≤±100V ≤±100V ≤±100V ≤±100V ≤±100V / / / / / / / / / 网格防静电PE袋 1×10～1×10 防静电红色海绵 防静电泡沫海绵 防静电吹塑盘 1×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 510510511511防静电台垫\\胶垫 1×10～1×10 防静电工作椅 防静电元件盒 防静电元件柜 防静电推车 防静电镊子 防静电胶箱 防静电周转车 SMT周转箱 防静电地面 1×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 1×10～1×10 51049494959494949410文件名称：静电测量标准 编号：G/ZZ-Oa001.00 第 13 页，共 13 页 表A.2 名 称 电烙铁 电批 防静电手腕 PCBA线体传送带 FA工装板海绵垫 PCBA机架框架 测量参数标准 接地电阻 ≤ 10Ω 接地电阻 ≤ 10Ω 对地电阻：7.5×10Ω～1×10Ω 表面电阻：1×10～1×10 摩擦电压：≤±100V 表面电阻：1×10～1×10 表面电阻：1×10～1×10 表A.3 名 称 离子风枪 离子风扇 衰减期 1000V～100V时，不超过20S 1000V～100V时，不超过20S 表A.4 名 称 静电电线接地电阻 设备电线接地电阻 接地电阻（Ω） 不超过10Ω 不超过4Ω 510511510 5检验周期 每周 每周 7检验比例 全检 全检 未采用在线监控仪的全检； 采用在线监控仪的可免检； 全检 每条线抽检5% 全检 每天 半年 半年 半年 残余电压（V） ≤±50 ≤±50 检验周期 两个月 两个月 检验比例 全检 全检 检验周期 一年 一年 检验比例 全检 全检 因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容