专利名称：检测管理系统专利类型：实用新型专利发明人：刘锦坤,杨宗龙申请号：CN201920937425.3申请日：20190620公开号：CN210268715U公开日：20200407
摘要：本实用新型涉及一种检测管理系统，包括：待检测的载具，所述载具具有腔室，且所述腔室内适于具有预设气体状态；集成于所述载具上的检测获取模块，所述检测获取模块检测所述腔室内的预设气体状态的待测参数，并获取检测数据；与所述检测获取模块以及所述腔室连接的数据收集控制模块，控制所述腔室内具有所述预设气体状态，并收集所述检测数据。本实用新型实施例能够实现载具的自动化气体导入、检测以及数据收集的一系列检测流程，有利于提高测试准确率以及测试效率。
申请人：长鑫存储技术有限公司
地址：230601 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
国籍：CN
代理机构：上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：成丽杰
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