激光干涉仪操作规程

操作步骤 1. 系统的相互连接

•将PC10计算机系统与ML10激光干涉仪用通讯电缆连接。

•如果需要，将PC10计算机系统与EC10环境补偿单元用通讯电缆连接。 •将PC1Q ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。 •通过稳压电源，将总电源线接到 220V接地电源上。 2. 激光的预热

闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约15〜20分钟，等激光指示灯出 现绿色后，表明激光已稳定。 3. 测量软件的启动

打开计算机，在“ C”提示符下依次键入： • CD/RENISHAW (RETURN) • RCS (RETURN) • a (RETURN)

• b (RETURN) 完成以上步骤后，测量软件已被启动。

4. 光学镜的安装 •将反射镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。 •将反射镜和分光镜组合组成干涉镜；将干涉镜用夹紧块、安装杆、磁

性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上

5. 激光调整

•调整激光，使其与测量方向一致。调整时，首先用粗光束调，然后用 细光束调，保证信号强度达到测量精度要求并恒定（由计算机上信号强 度指示确定）。

•调整透射光线和折射光线重合。 6. 目标值设定

根据测量要求， 设定目标值， 目标值的设定应尽可能的覆盖整个行程范 围。

7. 数据采集 •按目标值设定要求编制数控测量程序，在每个测量点必须有足够的延 时设定（由机床操作人员完成）。

•设定数据采集参数，主要包括；线性 /圆周、测量次数、单向 /双向、 测量信息等。

•按“ ALI+D'进行数据采集。

•数据采集完后，按“ ESC终止采集过程。

8. 数据分析 选择“数据分析”菜单，按相关标准要求进行数据分析，分别给出双

向定位精度、重复性、反向偏差等精度指标。 9. 计算机系统的退出 按以下步骤退出系统： -按“ ALT+X退回到“主菜单

•按“ x”退出本软件 •按“ •关机

10. 测量完成后的工作 •关闭 ML10。 •关闭 EC10。 •关闭电源插板开关。 •拆掉所有电源线及电缆线。

•拆掉光学镜、夹紧块、安装杆、磁性表座。 •按附件表所列项目清点所有附件，并放入附件箱。 注意事项

1.搬运仪器附件箱时，应轻拉轻放，防止振坏激光干涉仪或其它附件。 2. 三角架在使用时，应将各紧固螺钉固紧，防止意外事故的发生。 3. 激光干涉仪在使用时，应用两松紧带固紧。

4. 安装光学镜时， 要小心谨慎， 防止摔坏或碰坏光学镜， 特别禁止 “悬 空”安装光学镜。

5. 严禁用手触摸光学镜镜面，保持镜面干净。

6. 必须确保电源线有地线，并且地线必须在电源线供电端接地，否则， 会有触电（电击伤）的危险

7. 眼睛不能对准输出光束直视，否则会伤害眼睛。

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8. 在测量现场操作人员不得随意离开，以防意外事件的可能发生。若 有事确需离开，应有其它计量人员在现场看护仪器。

9. 测量完后，应将电源线、连接电缆、电源插板及电缆线等擦拭干净 10. 测量完毕后，应仔细清点仪器所有附件，防止丢失。 11. 本规程未涉及到的其它常识性的、基本的注意事项。

质量检查处 2004年元月 6 日