专利名称：微型集成窄带滤光片阵列及其制备方法专利类型：发明专利发明人：周东平,沈家麟申请号：CN200610027388.X申请日：20060608公开号：CN1862296A公开日：20061115
摘要：本发明公开了一种微型集成窄带滤光片阵列及其制备方法，该滤光片阵列包括：基片，在基片的一面置有与基片牢固结合的多个通道微型窄带滤光膜层，在基片的另一面镀制有公共截次峰膜层，其特征在于：各通道微型窄带滤光膜层之间有一间隔，间隔内置有防止光串扰的不透光的金属层，该金属层从间隔内延伸到滤光膜层的侧面，即各个通道滤光膜层侧面都有金属层包覆，彻底解决了各个通道之间的光串。该制备方法的特征是在滤光片的制备过程中，增设测量镀膜窗口，与对应的通道同时镀制，解决了制备过程中对单通道膜系进行测量的难度；采用金属掩模，有效地解决了光刻胶不能耐高温的问题，及其机械掩模所带来的变形和边缘效应，解决了通道图案精细化的问题。
申请人：上海欧菲尔光电技术有限公司,中国科学院上海技术物理研究所,苏州市光电元件厂
地址：200434 上海市汶水东路888号
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
代理人：田申荣
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