专利名称：应用确定波长的光通量处理衬底的工艺以及相应衬
底
专利类型：发明专利发明人：M·布吕尔
申请号：CN201180043392.4申请日：20110905公开号：CN103201825A公开日：20130710
摘要：本发明尤其涉及一种用确定波长的光通量（IR）来处理衬底的工艺，所述衬底包括嵌入层（3），所述嵌入层（3）具有吸收性，也即，所述嵌入层（3）独立于温度吸收所述光通量，所述嵌入层插入于第一层（2），所述处理层，和第二层（4）之间，第一半导体层（2）具有光通量的吸收系数，所述吸收系数在环境温度中较低并且随着温度的升高而增加，根据所述工艺，通过所述光通量（IR）的至少一个脉冲来照射所述第一层（2）。该工艺尤其值得注意的是-所述光通量（IR）被施加到第一层（2）的表面的几处地方，以便加热嵌入层（3）的区域，并且在所述第一层（2）中，通过相对于所述嵌入层（3）的被加热区域的热前缘的传播而生成被加热区带，所述被加热区带形成热支柱（P），所述热支柱（P）通过嵌入层（3）膨胀并且在第二层（4）之内生成约束。
申请人：SOITEC公司
地址：法国贝尔尼
国籍：FR
代理机构：北京戈程知识产权代理有限公司
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