专利名称：一种紫外光发光二极管用衬底及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：张延瑜,李瑞评,郭浩中,黄嘉彦申请号：CN201610889342.2申请日：20161012公开号：CN107946418A公开日：20180420
摘要：一种紫外光发光二极管用衬底，是以下列步骤制造：提供一蓝宝石衬底；于该蓝宝石衬底的表面设置一AlNO膜，其中，x为介于0.7至1之间的数，y为介于0.02～0.3之间的数，该AlNxOy膜的厚度介于15nm至2000nm之间；将设置有该AlNxOy膜的蓝宝石衬底置于一气氛中进行退火处理，其中退火的温度介于1500℃至1900℃之间；于退火后的AlNxOy膜上设置一外延层，该外延层中的氧原子含量小于等于10％原子百分比(atom％)，该外延层是由氮化铝(AlN)及氮化镓铝(AlGaN)群组中所选出，且该外延层的厚度介于20至5000nm之间。从而，提供一种低缺陷密度的紫外光发光二极管用衬底，以达到良好的发光效率。
申请人：兆远科技股份有限公司
地址：中国台湾新竹科学工业园区
国籍：TW
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：任岩
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