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一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法[发明专利]

2021-02-07 来源:爱go旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法专利类型:发明专利

发明人:马丁·思巴斯帝安·卡贝尔,莉莲·苏娜,凯彭,图阮,优翰·

伯特兰,张传杰,陈辉

申请号:CN202010658504.8申请日:20200709公开号:CN111855725A公开日:20201030

摘要:本发明公开了一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法,包括:载入待扫描样品;设置若干参数;定义待扫描样品的样品中心位置和待扫描样品的半径值,以样品中心位置为圆心、半径值为半径形成圆;定义待扫描样品的扫描区域;在扫描区域内选择有限多个点,根据点的数量在圆内选择合适位置将圆均分,并确定若干点的位置;确定焦点位置并自动设置放大倍数,同时激发自动聚焦;根据焦点位置自动计算待扫描样品的平面信息并进行水平校正;根据参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度,逐个扫描用户指定的所有扫描区域。本发明大幅提高了全样品扫描的效率,为实现全样品或部分区域的快扫提供了可行方案。

申请人:兰波(苏州)智能科技有限公司

地址:215000 江苏省苏州市高铁新城南天成路58号3楼F005工位

国籍:CN

代理机构:上海申新律师事务所

代理人:林志豪

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