专利名称：热压法制备ITO靶材的方法专利类型：发明专利
发明人：陈进中,熊爱臣,伍祥武,吴伯增,何焕全,韩洪涛,林东
东,甘振英
申请号：CN201210446311.1申请日：20121109公开号：CN103113089A公开日：20130522
摘要：本发明涉及ITO靶材，具体说是热压法制备ITO靶材的方法，其包括制取铟锡氢氧化物沉淀溶液；离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体；用水洗涤沉淀物，并离心分离沉淀物和水；干燥、煅烧沉淀物，得到ITO粉末；在ITO粉末中加入聚乙烯醇，利用模具将ITO粉末干压成成型体；将成型体置于热压炉中,制取ITO靶材的步骤。本发明通过控制合成溶液的温度和PH值等条件，可使ITO粉末达到纳米级，为热压法制备高密度的ITO靶材提供条件；同时本发明采用多次离心分离水洗的沉淀物，可有效去除沉淀物表面的杂质，有助于提高ITO粉末的导电性，从而提高ITO靶材的性能；而且本发明的热压法所需的成型压力较小，烧结温度低、时间短，生产成本低，可抑制晶粒长大，获得接近理论密度和较低气孔率的ITO靶材。
申请人：柳州百韧特先进材料有限公司
地址：545006 广西壮族自治区柳州市高新一路15号标准厂房D座东面第五层
国籍：CN
代理机构：广州凯东知识产权代理有限公司
代理人：姚迎新
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