专利名称：一种光刻胶模具的制备工艺专利类型：发明专利
发明人：陈哲,张睿,王者馥,王绪敏,殷金龙,任鲁风申请号：CN201510521775.8申请日：20150824公开号：CN105045050A公开日：20151111
摘要：本发明公开了一种光刻胶模具的制备工艺。其中匀胶方法包括：将光刻胶滴加到光纤面板中心；将光纤面板从静止加速到600rpm/min；加速到1800？rpm/min；加速度加速到
2000？rpm/min；加速到2200？rpm/min；降速到800？rpm/min；逐步降速，终止甩胶。光刻胶模具的制备方法包括：匀胶、前烘、曝光、后烘、降温、显影和坚膜。本发明制得的光刻胶模具降低了相邻微反应池阵列之间的光学串扰，有效解决了测序反应中由此导致的信号误读问题。
申请人：北京中科紫鑫科技有限责任公司
地址：101111 北京市大兴区经济技术开发区科创六街88号亦庄生物医药园3号楼608
国籍：CN
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