专利名称：一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具专利类型：实用新型专利
发明人：闫青芝,曲迪,陈墨,白国人,靳春艳申请号：CN201920524111.0申请日：20190417公开号：CN209980011U公开日：20200121
摘要：本实用新型公开了一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，该真空基片夹具包括真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；每个真空吸附结构下端连接有抽真空结构；每组真空吸附结构包括沿载物台厚度方向设置的M个第一真空孔，第一真空孔为通孔；相邻的第一真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；还包括设在载物台上可拆卸的辅助装置；该辅助装置上设有与第一真空孔连通的第二真空孔；基片覆盖在第二真空孔之上；辅助装置上端与基片紧密贴合，辅助装置下端与载物台紧密贴合。该夹具不仅便于调整基片位置、而且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。
申请人：天津华慧芯科技集团有限公司
地址：300467 天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101
国籍：CN
代理机构：天津市鼎和专利商标代理有限公司
代理人：许爱文
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