专利名称：薄膜晶体管及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：曺基述,朴美景,崔栽荣申请号：CN201210574315.8申请日：20121226公开号：CN103367456A公开日：20131023
摘要：本发明涉及一种薄膜晶体管及其制造方法。该薄膜晶体管包括：栅极，形成在基板上且具有以固定间隔分开的多个水平电极部；栅绝缘膜，形成在包含栅极的基板的整个表面上方；有源图案，形成在多个水平电极部上方的栅绝缘膜上；蚀刻停止膜图案，形成在有源图案和栅绝缘膜上方，以对有源图案和栅极的顶部部分覆盖；源极，形成在有源图案、栅绝缘膜和蚀刻停止膜图案上，以覆盖相邻水平电极部的顶部；和漏极，形成在有源图案、栅绝缘膜和蚀刻停止膜图案上，以覆盖位于最外端的水平电极部的顶部。
申请人：乐金显示有限公司
地址：韩国首尔
国籍：KR
代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司
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