专利名称：基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列及其制
备方法
专利类型：发明专利
发明人：李全福,朱小虎,张祺,刘卫华,彭慧玲,刘林生,宋辉,李
廷会,汪海船
申请号：CN201910043643.7申请日：20190117公开号：CN109632906A公开日：20190416
摘要：本发明公开了一种能够检测气体种类和相应气体的浓度；并且响应速率快，识别率高的基于石墨烯‑金属异质结的气体传感器阵列及其制备方法。该气体传感器阵列包括基底和形成在所述基底上的多组基于石墨烯‑金属异质结的电阻式气体传感器；所述气体传感器阵列的制备方法包括步骤S1、在基底上加工出金属电极阵列和导电引线；S2、将石墨烯转移到制有金属电极阵列的基底上；S3、利用等离子体刻蚀，将基底上多余的石墨烯刻蚀掉，形成电阻式气体传感器；S4、利用磁控溅射镀膜，加工出气体传感器顶层的覆盖层。采用该基于石墨烯‑金属异质结的气体传感器阵列及其制备方法，在矿井作业，食品安全检测，环境监测、机器人电子鼻等方面有较好的应用前景。
申请人：广西师范大学
地址：541004 广西壮族自治区桂林市七星区育才路15号
国籍：CN
代理机构：北京中济纬天专利代理有限公司
代理人：石燕妮
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