专利名称：Film forming unit发明人：Takahiro Kitano,Masateru
Morikawa,Yukihiko Esaki,NobukazuIshizaka,Norihisa Koga,KazuhiroTakeshita,Hirofumi Ookuma,MasamiAkimoto
申请号：US09735459申请日：20001214
公开号：US20010003968A1公开日：20010621
摘要：Array
申请人：TOKYO ELECTRON LIMITED
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