专利名称：LED晶圆激光装置专利类型：实用新型专利
发明人：肖和平,陈亮,曹来志,马祥柱,杨凯申请号：CN201620494103.2申请日：20160527公开号：CN205764431U公开日：20161207
摘要：LED晶圆激光装置，属于激光加工技术领域，采用两组激光发射器，分别形成两组单独的激光束，将分出的两束光分别经反光镜、扩束镜、聚焦镜、保护镜，使两束光斑相距5mm以内，并最终聚焦后到达待加工LED晶圆表面切割线预留位置，LED晶圆只须移动一次，即可达到高度两次加工的目的，大大提升了切割加工效率。
申请人：扬州乾照光电有限公司
地址：225009 江苏省扬州市维扬路108号
国籍：CN
代理机构：扬州市锦江专利事务所
代理人：江平
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