发布网友 发布时间:2024-10-24 08:47
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热心网友 时间:2024-10-25 12:42
氮气无毒、无味、无色、不易燃。多晶硅装置联动试车通常使用氮气作为介质。这是因为氮气无毒、无味、无色、不易燃,以及极其化学稳定,能够有效保护多晶硅装置内部不受氧化腐蚀的影响。在联动试车的过程中,氮气主要用于清洗和干燥设备、防止设备内部的水分和氧气形成氧化膜,同时也可以在一定程度上降低设备内部的温度,提高试车效率。除了氮气外,还有一些其它的介质,如氢气、氦气等,但使用氢气比较危险,氦气的成本较高,故通常采用氮气进行多晶硅装置联动试车。